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MEMS压力传感器应用

2013-11-26    点击数:2405

MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用 MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和智能化。传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形,由机械量弹性变形到电量转换输出,因此它不可能如 MEMS压力传感器那样做得像 IC那么微小,成本也远远高于 MEMS压力传感器。相对于传统的机械量传感器,MEMS压力传感器的尺寸更小,最大的不超过 1cm,使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。

MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子:如 TPMS、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器( TMAP)、柴油机共轨压力传感器;消费电子:如胎压计、血压计、橱用秤、健康秤,洗衣机、洗碗机、电冰箱、微波炉、烤箱、吸尘器用压力传感器,空调压力传感器,洗衣机、饮水机、洗碗机、太阳能热水器用液位控制压力传感器;工业电子:如数字压力表、数字流量表、工业配料称重等。比如针对汽车,压力传感器大有所为。

在计量部门,汽车工业,航空,石油开采,家电产品,医疗仪器中应用广泛,如下表所示。

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